磁性聯(lián)軸器多用于在高真空、高潔凈度、有毒、腐蝕性，或其它惡劣環(huán)境中將動(dòng)力從主動(dòng)軸傳遞給從動(dòng)軸。由于采用了隔離密封套的形式，化動(dòng)態(tài)密封為靜態(tài)密封，從而可實(shí)現(xiàn)零泄露。它的一個(gè)重要應(yīng)用是作為真空晶圓輸送機(jī)器人動(dòng)態(tài)密封技術(shù)的核心組件，因此，倍受半導(dǎo)體主流鏈機(jī)設(shè)備廠(chǎng)商的關(guān)注。磁性聯(lián)軸器的優(yōu)化設(shè)計(jì)，直接影響真空機(jī)器人的傳動(dòng)性能。
磁性聯(lián)軸器由內(nèi)、外軛鐵和設(shè)置其上的瓦形磁體組成的內(nèi)外磁轉(zhuǎn)子以及內(nèi)外磁轉(zhuǎn)子間的氣隙中設(shè)置的隔離套組成。磁力泵由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)外磁轉(zhuǎn)子，外磁轉(zhuǎn)子通過(guò)磁力作用帶動(dòng)與葉輪一體的內(nèi)磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，內(nèi)外磁轉(zhuǎn)子之間有隔離套隔開(kāi)，從而實(shí)現(xiàn)了液體無(wú)泄漏輸送，也就是說(shuō)能量傳遞是通過(guò)磁性聯(lián)軸器的磁場(chǎng)無(wú)接觸實(shí)現(xiàn)的。

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